技术编号：6003318
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于等离子体科学与，涉及到一种射频放电等离子体诊断装置， 能够克服射频放电，特别是两个以上射频同时放电时存在的射频扰动，获得电子密度和电子温度等参数。背景技术探针是诊断等离子体参数常用的装置。利用普通的探针诊断射频放电等离子体时，探针的伏安特性曲线由于射频扰动会发生扭曲，给出错误的诊断结果。对于单一频率的射频扰动，通常的解决办法是在探针电路中安装射频扼流圈和辅助电极对射频扰动进行衰减，或利用外电路对射频信号进行采样，再经过相移和放大后反馈回探针来抵消...
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