技术编号：6006384
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及滤光器的制造方法、分析设备及光设备。 背景技术已提出过，将2个基体不管其材质如何都不使用粘合剂或固体接合就能以较高的尺寸精度牢固地且在低温下高效地接合的方法(专利文献1)。利用该方法，通过活化能使分别设于2个基体的接合膜活化，使接合膜彼此接合。该接合方法可以用于多种用途，其中之一就是使透过波长可变的干涉滤波器(专利文献2、。如专利文献2的图1所示，该干涉滤波器具备保持为相互平行的一对基板、和在这一对基板上相互对置且以具有一定间隔的间隙的方式形成的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。