检查设备和检查方法技术资料下载

技术编号:6008555

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本发明涉及适合于例如检查(inspect)电路板的检查设备以及用于该检查设备的检查方法。背景技术当前广泛用于检查诸如电路板的目标的形状的检查设备被设计为摄像机或其他成像设备捕获电路板的静止图像并分析该静止图像用于检查。在此情况下,通过获得二维捕获的单个静止图像来检查板的平面形状、即二维 (2D)形状。此外,可以通过首先将网格(grid)图案投影到目标上、捕获多个图像同时移动网格图案被投影到的位置的相位并分析多个静止图像来检查三维(3D)形状。该三维形状检查...
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