技术编号：6010069
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及固体材料次级电子发射特性测试，特别涉及具有智能测控技术的固体材料二次电子发射系数测试装置。背景技术所谓二次电子发射(Secondary Electron Emission)，就是指具有一定能量或速度的电子(或离子)轰击物体表面时，会引起电子从该物体表面发射出来的现象。从样品表面发射的二次电子在数量上可多于或少于一次电子，在能量上也呈现一定分布，其中包括一次电子的弹性散射电子、非弹性散射电子、真二次电子、俄歇电子等，有时还有其它复杂现象伴随二次电子...
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