技术编号：6014592
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种纳米材料及器件的检测装置，特别是一种基于电子束曝光系统/电子束图形发生系统的磁场施加，高频电磁信号产生、引入、传输和测量以及大范围下的纳米定位的纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统。背景技术随着纳米加工和检测技术的发展，纳米材料与器件已经广泛应用于包括诸如电子、磁学、化学、生物等多个领域。针对纳米材料和器件的研究，已经成为凝聚态物理以及现代信息技术和工业生产中的核心问题之一。1988年以来，自旋电子学的飞速发展正在逐步将信息科学带入一个包含纳米...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。