压力测量单元的制作方法技术资料下载

技术编号:6017957

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本发明涉及一种按权利要求1前序部分所述的用于对测量压力进行测量的压力测量单元,特别是相对压力测量单元,包括具有至少一个基体电极的基体以及包括与基体连接而构成传感器室的膜片体。背景技术相对压力传感器用于测量在测量介质内的压力与实际大气压之间的压差。这种相对压力传感器由基体构成,该基体与在边缘侧与其连接的测量膜片共同构成传感器室或压力室。为了进行相对压力测量,基准空气通过基体侧的通风孔导入传感器室内,在此,测量膜片的远离传感器室的表面被施加测量压力。测量膜片的...
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