技术编号：6018806
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测量材料放气率的方法，特别涉及一种通过转换气体通路来实现实时测量测试室和真空规产生的放气率的方法，以减小测试室和真空规带来的影响，延伸测量下限，属于测量。背景技术在某些真空应用领域，系统设计时需要考虑内部材料放气对系统影响，以便确保系统安全运行，设计设备使用年限，这时就需要对系统内部材料的放气率进行测量。在文献 “真空管道TiN膜热出气率实验研究”中介绍了传统的上、下游室的材料放气率测量装置和测量方法，上游室和下游室各放置一个真空规，试样放置...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。