技术编号：6019255
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种陶瓷基板平面轮廓扫描系统，尤其是涉及一种用于对陶瓷基板平面的曲翘进行扫描检测系统及扫描方法。背景技术陶瓷基板是指铜箔在高温下直接键合到氧化铝或氮化铝陶瓷基片表面(单面或双面)上的特殊工艺板，是大功率电力电子电路结构技术和互连技术的基础材料。而陶瓷基板的平整性或曲翘度对产品的质量好坏有着决定性影响，目前基本采用人工对陶瓷基板进行观察检测，这样的方法与操作者的经验有着很大的关系，不仅费时也难以保证质量，效率低下。发明内容本发明的目的在于解决上述的...
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