技术编号：6023979
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明领域一般地涉及测量技术，并且，更具体地涉及用于干涉形貌测量的预定参考比例。背景技术 1.0基本干涉测量法干涉测量法包括分析干涉波，用于测量距离。干涉仪是执行干涉测量法的测量工具，通常从第一反射表面反射第一系列光波，并从第二反射表面反射第二系列光波。第一和第二系列波随后组合形成组合波形。接着对通过检测组合波形得到的信号进行处理，用于得出反射表面的相对位置。图1表示一种干涉仪的一个实例，它常常被称为迈克尔逊干涉仪。参看图1，光源101和分光镜102用于形...
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