技术编号：6039968
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种恒压式气体流量计全金属变容室，属于真空计量技术 领域。背景技术在文献"恒压式气体微流量计的设计，《中国空间科学技术》、1999年第3 期、第65页 71页"，介绍了一种恒压式气体流量计变容室。该变容室采用活塞 液压驱动波纹管的结构，当活塞在油室中运动时,通过液压油压縮波纹管，认为 活塞体积的变化率等于变容室波纹管体积的变化率。其中，活塞与油室之间用 橡胶圈进行动密封。这种结构的不足之处在于，温度变化将引起液压油体积的膨胀或收縮，且 油室中...
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