技术编号：6043053
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种丙酮气敏半导体传感器，包括底座；支撑层，下表面与底座连接；金属层，设置在支撑层的上表面，金属层包括电隔离的加热电阻和电极；绝缘层，下表面与加热电阻连接；敏感层，设置在绝缘层上，且与电极电连接；应力调节层，设置在支撑层的下表面上。由于本发明将加热电阻与电极集成到了同一金属层上，减少了支撑层正面的金属膜层数量；同时，在支撑层的背面引入应力调节层，通过应力调节层有效调控了多层膜结构的热膨胀变形。通过以上两个途径，本发明可避免因材料热膨胀系数不同而...
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