技术编号：6076611
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种摆式MEMS加速度计芯片电容测试工具。本实用新型包括测试工具主体和测试针筒；测试工具主体包括底座、连杆结构、针筒安装块；底座两侧各带有一道滑槽，上部有两个轴套；连杆结构包括两根相互平行的L型拉杆、两根相互平行的一字形拉杆、四根相互平行的横杆，横杆与L型拉杆和一字形拉杆通过轴孔及螺纹螺纹连接；两根滑轨安装在底座上，滑轨上安装有针筒安装块；连杆结构带动针筒安装块沿滑轨运动；针筒安装块上安装有不同规格的测试针筒，针筒上的针头有弹性，其位置与加速...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。