集成传感器芯片单元的制作方法技术资料下载

技术编号:6088482

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本发明涉及一种传感器模块,特别是涉及按照权利要求1的前序部分所述的、用于确定测量数据的测量值传感器和用于实现无线供电和询问测量数据的电路装置。这类传感器已经公知。德国实用新型DE 201 21 388 U1公开了一种传感器,其中一可变形的薄膜和一反电极被微结构化并形成谐振电路的电容器。在该传感器中未集成分析电路。德国实用新型DE 202 02 131 U1说明了一种用于连续监控生物机体的生物统计学数据的系统。该系统提供具有发射机应答器的传感器和与分析单元分...
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