技术编号：6091045
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种平面干涉计量仪器，特别是一种高精度大孔径移相式数字平面干涉仪。目前，采用移相干涉术原理进行平面检测的仪器，如美国Zygo公司的Mark型干涉仪，它的系统中主要采用了一个卧式菲索型干涉仪，利用两只压电晶体在驱动源的驱动下水平推动参考平面位移，同时微机控制光电探测器和数据采集卡对位移的干涉图光强进行采样和数据存贮，最后利用移相干涉术的一般原理，复原出被测相位。该仪器测量孔径为4英寸(Φ102mm)情况下，测量准确度为λ/50(峰-谷值)，附加透镜...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。