技术编号：6098381
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及提供一种改进的，更确切地说提供一种经改进的基于原子力显微镜进行检测和分析微机电系统制造的微结构弹性系数的测试方法，属于微力学测试分析领域。背景技术 基于硅等材料的微加工技术，主要是利用腐蚀的方法制备出基于多种物理效应的各种传感器和执行器，这些器件由薄膜、微桥、微悬臂梁等基本的微结构单元构成，结构单元的尺寸从纳米到几百微米长度，这些结构在外界因素作用下，会发生结构形变从而可以检测多种信号，其形变从几个纳米到几个微米量级。对微结构进行基本的力学量检测...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。