一种差压/压力/温度测量用多参数传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6098392

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本发明涉及一种用电容量变化的原理来检测差压(第一压力)信号,用压阻式应变原理来检测静压力(第二压力)信号,用数字量输出的高精度集成测温芯片来检测传感器本身及与之接触的介质温度的差压/压力/温度测量用多参数传感器,属于自动化仪表传感器领域。背景技术 常规的传感器测量功能比较单一,一般为纯压力、纯温度、纯差压等形式,也可在上述传感器周围安装热敏电阻、半导体二极管等作为温度检测元件,用于传感器的温度补偿,但其缺点为温度测量的精度一般不高,测量温度的点与传感器之间...
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