技术编号：6101280
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关于一种回收污染源的方法与系统，且特别是有关于一种隔离机台排水回收污染源的方法与系统。背景技术 近年来台湾缺水问题日益严重，对于产业发展已逐渐产生威胁，再加上政府对于用水回收率的法令规定日趋严格等等因素下，迫使产业必须加强全厂用水效率，包括必须回收使用部分的处理排水，才能达到处理回收率的法令要求。然而，因为半导体产业处理变动性极高，处理技术也不断的演进与提升，再加上处理使用化学药剂的种类也越来越复杂，使得回收水污染发生频率也常因为处理变动、机台操作...
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