技术编号：6105695
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种微三维形貌测量仪器，具体的说是一种基于光纤传像束的新型微三维形貌测量装置。技术背景随着微电子工业的迅猛发展以及MEMS、MOEMS和光通信等技术的不断兴起，出现了大量的微米、毫米级器件。因此，微三维测量的市场需求越来越旺盛。但是，目前已有的微三维测量仪器要么是针对厘米以上器件的，如台湾智泰公司、西安交大及清华大学推出的微三维测量仪，其测量精度一般都在几十微米左右；要么是针对微纳米级器件的，其测量精度一般能达到几个或几十纳米。所以开发适合测...
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