角速度传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6114079

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本发明一般涉及角速度传感器,更具体地,涉及一种具有音叉谐振器(tuning fork resonator)的角速度传感器。背景技术 角速度传感器检测旋转时的角速度,用于防止由于手运动出现的模糊图像,并用于汽车导航系统和汽车或机器人的姿势控制系统。国际公告第WO 03/100350 A1(以下称为文献1)号公开了具有音叉谐振器的角速度传感器。通常,音叉谐振器由基板等支撑。当音叉谐振器的振动传递给基板时,检测精度或检测效率会变差。因此,需要不会使振动传递给支撑...
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