技术编号：6117025
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种探测装置，此探测系统是由基于微电子机械系统(MEMS) 二维扫描镜的激光主动探测装置和基于红外CXD的红外被动探测装置组成。背景技术随着微电子机械系统(Micro Electronic Mechanical System, MEMS)加工技术的日趋成熟，采用MEMS光学扫描镜为核心扫描器件被越来越多的运用到航天、军事航海和通讯等许多领域。基于MEMS光学扫描镜的激光主动探测装置有着其独特的优势，这种装置不仅体积小、质量轻、功耗低、响应快；同时...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。