技术编号：6121446
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于测试诸如集成电路的半导体器件的设备。更具 体地，本发明涉及一种探针卡组件及将探针元件粘连至该探针卡组 件的方法。背景技术在半导体集成电路的制造过程中，传统的做法在制造过程中以 及在发货之前测试集成电路("IC")以确保正常工作。晶片测试是 通常在安装晶片的半导体IC的生产测试过程中常^f吏用的一项已知 测试方法，其中，在自动测试设备(ATE)和安装在晶片上的每个 IC之间建立临时电流，以i正实IC的性能正常。可以在晶片测"i式过 程中使用的元...
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