技术编号：6134134
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及IC(集成电路)测试方法、和采用该方法的IC测试装置，能够在对半导体集成电路构成的存储器等半导体器件进行功能测试和直流测试的情况下，在短时间内进行功能测试和直流测试项目的漏电测试。背景技术 以往，在对存储器等半导体器件进行测试的IC测试装置中，进行功能测试和直流测试，将在两个测试中都判定为正常的IC判定为合格品，其中功能测试用于判定半导体器件的功能是否正常工作，而直流测试用于判定半导体器件的各端子是否具有预定的直流特性。图3示出IC测试装置的概略...
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