技术编号：6142962
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于飞机、汽车、机器人、船舶、车辆等移动体的姿势控制 以及导航等的、在各种电子设备中使用的惯性力传感器以及复合惯性力传感 器。背景技术下面，使用在专利文献l中公开的技术对作为现有的惯性力传感器之一 的加速度传感器进行说明。图15是在专利文献1中公开的现有的加速度传感器的检测元件的俯视 图；图16是所述检测元件的16-16线剖面图，图17是所述检测元件的17-17 线剖面图。在图15 ~图17中，现有的加速度传感器具有检测加速度的检测元件51、 对...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。