技术编号：6143031
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气体分析器，特别涉及利用四极质谱分析法等的气体分析器测定値修正 方法。背景技术已知该种残余气体分析器具备传感器单元与装置本体而形成，传感器单元具有包含 离子化部、质谱分析部与检测部的传感器部及交流产生器部，装置本体以缆线连接该传 感器单元(参照例如非专利文献l)。又根据该残余气体分析器，首先，自高温丝极发射的热电子影响导入离子化部的残 余气体而将其离子化。以透鏡加速、收敛产生的离子，将其导往质谱分析部。在质谱分 析部中对例如4条圆柱形电极(四极)...
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