技术编号：6143270
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种质谱仪的控制方法和质谱仪。本申请以日本特愿2007-106878号作为基础申请，并引入其内容。 背景技术作为对真空装置的残留气体进行分析的分析仪，已知例如有四极质语 仪。四极质谱仪一般是由离子源、过滤器部和检测部构成。离子源上设置有 丝极(阴极电极)和栅极(阳极电极)，如果向丝极提供丝极电流的话，该 丝拟j皮加热，向栅4及喷出热电子。过滤器部配备有排列在离子源和检测部之间的四支棒状电极(四层电 极)。四支棒状电极具有对称且平行地配置为方格状的...
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