波面像差测量装置及方法、以及波面像差调整方法技术资料下载

技术编号:6144127

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本发明是关于,特别是关于使用测量在被检光学系统所发生的波面变化的信息的波面感测器的技术。背景技术已知由光学系统(包含透镜、反射镜等单体的光学构件的广义概念)会发生波面像差。实际制作的透镜的波面像差,会有从透镜设计中的波面像差设计值偏离的情形。例如专利文献l,是已知的使用干涉法以外的方法,其是以由利用透镜阵列的夏克-哈特曼(Shack-Hartmann)法形成的波面感测器做为测量被检光学系统的波面像差的波面像差测量装置。 专利文献1 日本专利第3417399...
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