技术编号：6150404
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，属 于等离子体检测。技术背景 众所周知，气体放电等离子体技术已广泛应用于众多工业领域。 在很多应用(如材料处理、薄膜生长及刻蚀)中，为了达到更好的材 料处理结果，通常要求等离子体是均匀的。但是，在大多数情况下 放电产生的等离子体不均匀，尤其在大气压下更是难以实现均匀放 电，只在某些特殊情况下(例如微间距的狭缝放电)能出现均匀放 电。目前，对于放电均匀性的检测，通常的方法是肉眼观察或者用 相机拍照。对于交流气体放电来说，这样得到的结果，实际上是...
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