运用于影像感测芯片的高频测试的悬臂式探针卡的制作方法技术资料下载

技术编号:6154748

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本发明是有关探针卡的,特别是指一种用于测试影像感测芯片的悬臂式 探针测试装置,并能在电路板有限的面积下形成更多的测试作业区。背景技术一般测试半导体芯片的探针卡,主要是作为测试机台与半导体芯片之间的连接对 象,由测试机台提供电压使半导体芯片产生相对电性讯号而进行测试。但是若为影像感测 芯片(例如CCD或CMOS)的测试,则须将测试光线照射到影像感测芯片的光学感应区,芯片 因受光线的照射会产生电性变化,并产生电性讯号至所连接的探针卡及测试机台处。由于 与公知一...
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