技术编号：6159153
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的膜厚测定装置具有分光传感器（113）和数据处理部（120），其中，所述分光传感器测定在基材上涂布的膜的分光数据，所述数据处理部根据所测定的分光数据求出测定颜色特性变量，将该测定颜色特性变量与针对膜的厚度和折射率的多个组的值求出的多个组的理论颜色特性变量进行比较，使用对应于与该测定颜色特性变量之差最小的理论颜色特性变量的组的值确定该膜的折射率，使用该膜的该折射率确定该膜的厚度。专利说明[0001]本发明涉及通过测定分光反射率来求出在基材表面形成的膜的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。