技术编号：6165393
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。公开了一种微型光纤压力传感器设计，其中围绕特定偏压压力的灵敏度被优化。在一实施例中，该压力传感器是法布里－珀罗(FP)传感器，其包括基板；以及安装在该基板上的膜片。该膜片具有中心并包括包括第一材料的第一层；以及包括第二材料的第二层。该第二层形成圆点或环。该圆点或环安装在该第一层上并以该膜片的中心定中心。该第二材料包括内部预应力，以致使膜片的中心（在圆点的情况下）或者围绕膜片中心的周边区域（在环的情况下）在放松内部预应力时从基片拱起。专利说明微型高灵敏压力传...
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