技术编号：6166736
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种泄漏测试方法，包括减小工件中的检查空间中的第一压力和主腔室中的空间中的第二压力；加湿工件中的检查空间；并且，在工件中的检查空间处于水蒸气饱和状态中时，检测在工件中的检查空间和主腔室中的空间之间的压差变化。而且，在这种泄漏测试方法中，由压差变化检测工件中的检查空间中的泄漏。专利说明泄漏测试方法和泄漏测试设备[0001]本发明涉及泄漏测试方法和泄漏测试设备的技术，该技术检测工件中所要检查的空间、即工件中的检查空间中的泄漏。背景技术[0002]根据相关技术的...
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