技术编号：6174154
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。，涉及光学元件检测。将空间误差分解为X、Y平面内误差和该平面沿Z轴运动后由Z轴所引起的误差，综合利用这两部分误差值，通过分别对X、Y两轴联动误差、Z轴定位误差进行多项式拟合以及将Z轴实际运动轨迹分别向ZO1X和ZO1Y平面垂直投影和解多个相关直角三角形的方法计算出空间误差值。因为所应用的误差值均可通过已有设备进行测量，从而实现了大口径光学元件精密检测平台的空间误差计算。专利说明[0001]本发明涉及光学元件检测，涉及一种。背景技术[0002]大口径高精度光...
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