技术编号：6175451
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种多功能自动四探针测试仪，包括真空吸片承片台、四探针组件、三轴驱动机构、摄像头及主控计算机，四探针组件安装于三轴驱动机构，摄像头的拍摄方向正对真空吸片承片台，摄像头和四探针组件的信号输出端与主控计算机的信号输入端连接，三轴驱动机构的控制信号输入端与主控计算机的控制信号输出端连接。本发明吸片式承片台可以固定破碎的硅片样品，使本发明测试仪具有固定样品的作用，避免在测试过程中的样品移动；摄像头用于拍摄硅片的位置及形状，可通过图像进行定位，实现设备的碎片处理功能...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。