技术编号：6179442
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。形貌补偿式三光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过三轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正三棱柱侧棱形式分布的三条平行标准测量光束中心位置处；在垂直于三条标准测量光束的平面内，由三条标准测量光束在该平面投影点构成的等边三角形区域中，三条标准测量光束和被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小，三条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；目标反射...
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