技术编号：6179462
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本文公开了一种集成电路及其制造方法，该集成电路包括半导体衬底；在衬底上的相对湿度传感器，所述相对湿度传感器包括第一传感器电极，第二传感器电极，和覆盖在第一传感器电极和第二传感器电极上的湿度敏感层，和在衬底上的热导式气体传感器，所述热导式气体传感器具有位于湿度敏感层上的电阻传感器元件。专利说明包含热导式气体传感器的集成电路[0001]本发明涉及一种集成电路。特别地，本发明涉及一种包括热导式气体传感器的集成电路。背景技术[0002]现今，集成电路可以包括不同的...
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