晶舟倾斜自动感应装置制造方法技术资料下载

技术编号:6180799

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本发明提供了一种晶舟倾斜自动感应装置,通过增设感应装置来对晶舟的水平状态进行实时检测,如果晶舟一旦产生倾斜,感应装置的传感器就会将晶舟倾斜的信号传送至控制端,控制端接收到晶舟倾斜的信号时,发送指令控制信号灯发出提醒信息提醒技术人员晶舟已经产生倾斜,需尽快对晶舟做出调整。本发明可实时有效对晶舟的倾斜状态继续检测,避免倾斜的晶舟内的晶片造成破片,撞片,叠片,进而导致晶片报废。专利说明晶舟倾斜自动感应装置[0001 ] 本发明涉及微电子领域,具体涉及一种晶舟倾斜...
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