技术编号：6189355
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。基于被测表面荧光激发的共焦显微测量装置属于表面形貌测量，特别涉及ー种用于微结构光学元件、微结构机械元件、集成电路元件中三维微细结构、微台阶、微沟槽线宽及大数值孔径光学元件表面形状测量的超精密測量装置。背景技术共焦传感技术是ー种适用于微米及亚微米尺度测量的三维光学显微技术，其核心原理是利用光学显微系统离焦信号与准焦信号強度响应差异显著的基本特性，通过点探测器收集样品信息实现离焦、准焦信号分离，从而克服普通光学显微镜深度信息混叠的不足，获得高灵敏度纵向层析能力...
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