球面波前测试干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法技术资料下载

技术编号:6216090

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,属于光学测试领域,为解决现有技术无法对球面测试时干涉仪传递函数的测试问题,该测试装置及方法安装干涉仪球面测试基准镜头在干涉仪主机上;打开移相式干涉仪主机和配套计算机电源开关;在干涉仪球面测试基准镜头的球心后面45°放置高度传递函数测试基准板使光路折转,在其后放置高精度球面反射镜,使其球心与干涉仪球面测试基准镜头的球心重合;在干涉仪主机上可获得高度传递函数测试基准板的图像,通过干涉仪主机测试采集相移图像将得到高度传递函数测试基准板的面形测试图,测试基准板的...
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