技术编号：6216628
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种双层结构的非制冷红外焦平面阵列探测器，所述探测器由衬底、桥面层、至少一个桥腿层组成，为双层结构上层桥面层与和下层桥腿层；所述桥面层由红外热辐射吸收层和热敏感层组成；所述桥腿层由支撑层和金属导电层组成；所述桥面层和桥腿层位于上下两个、相互平行的平面上且通过电传导锚柱固定连接；所述桥腿层悬空在衬底之上且通过另一电传导锚柱与衬底连接；所述衬底为读出集成电路衬底，表面上设置有红外辐射反射层。本发明通过将非制冷红外探测器分置成双层结构来实现，能够有效地...
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