技术编号：6219274
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空压强传感器，具体涉及一种基于半导体纳米线垂直阵列的真空压强传感器。背景技术真空压强传感器是真空科学研究与真空测试技术中的重要器件，广泛应用于真空镀膜、航空航天、生物科学实验和工业过程控制等领域。目前使用较多真空压强传感器主要为基于热散逸的皮拉尼压强传感器，然而这类传感器功耗大、不便于集成的特点使得它逐渐不适应于现代电路集成化的要求(Sens.Actuators, A 156 (2009) 201-207);场发射传感器由于其高的电压和大的...
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