技术编号：6235413
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明揭示了一种。该制备方法包括对检测样品进行铸模处理；切割铸模完成的检测样品，使切割面接近待分析区域；对所述切割面进行抛光处理，使得待分析区域暴露出来；将所述检测样品送入TOF-SIMS高真空室内，利用离子枪对所述检测样品切割面进行清理以去除切割和抛光过程中吸附在切面的杂质。这保证了检测样品制备过程中没有引入新的污染物，通过一系列的抛光和清理步骤以后，检测样品界面可以真实反映出样品内部的情况。该检测方法通过TOF-SIMS对制得的检测样品进行表面分析可以...
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