技术编号：6240601
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了。使用本发明能够有效确认质谱计的线性段，避免了其他各种因素对质谱计线性段测量的影响，降低了质谱计线性测量的不确定。本发明采用质谱计先后测量真空标准漏孔漏率对应的离子流和气体微流量计标准流量对应的离子流，由于真空标准漏孔漏率和气体微流量计标准流量已知，进而可以获得流量与离子流的比值，利用质谱计线性段流量与离子流的比值一定的关系，将测量获得的两个流量与离子流的比值进行对比，获得真空标准漏孔漏率与气体微流量计标准流量之间偏离线性的偏差，进而根据该偏差...
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