技术编号:6241341
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种适用于高基频MESA晶片的测试装置及测试方法,其结构包括A、B二个金属电极(测试电极),其中B金属电极2接触并支撑水晶片的待测试MESA区域,而A金属电极1与水晶片的MESA区域之间存有一个5~10μm的悬浮缝隙,在A、B两个金属电极之间串接一个电场、CNA300型网络分析仪。本发明的优点“悬浮”感应的方式来测试高基频MESA水晶片的频率,以避免传统的“接触式”测试的方法带来的水晶片破损问题,测试过程,可以最大程度的避免在测试过程中所造成的水晶...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。