技术编号:6248336
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,1)在外侧覆盖板上印制聚酰亚胺薄膜、云母板石棉等绝缘层材料,烘干得到绝缘的外侧覆盖板;2)设定外侧覆盖板和电极基片之间作为间隔反应带;3)在间隔反应带内侧均匀地填充一层固形材料,间隔反应层内剩余的空间用作气体通道;固形材料的主要成分为丙烯类树脂和密封性好且耐高温的石墨4)将气体敏感涂料加热,压制在半导体电子元件一侧,固定于电极基片上;5)将载有半导体电子元件的电极基片整体固定于气体通道的中央,气体敏感层正对气体输入方向;6)热压烧制,常温下冷...
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