技术编号：6282318
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体制造工艺中的多腔体设备选取腔体菜单的方法。背景技术随着半导体制造技术的发展，越来越多的半导体制造企业在CIM (Computer Integrated Manufacturing ， 计算机集成制造)禾口 EAP (Equipment Automation Program,设备自动化控制程序)方面的建设非 常重视，通过建设计算机控制的自动化系统，不仅提高了生产制造的整体 效率，同时也大大降低了因人为操作错误而造成的经济损失。生产设备的...
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