技术编号：6289398
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及应用利用先进的数字控制算法的闭环控制系统操作质量流量控制器(MFC)的系统和方法。更具体地说，本发明提供一种操作质量控制器的闭环控制系统，其中在数字处理器内实现所有的数学运算。由于安装了质量流量控制器的设备的不定期保养，造成质量流量控制器具有较高的成本。特定类型的失效经常没有指示。由于认为质量流量控制器是一种固有的不可靠的动态装置，所以常规的做法是更换质量流量控制器。结果，非常多的质量流量控制器返回到工厂并按照指定操作在失效分析中没有发现问题...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。