技术编号：6326793
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子装置的制造，更具体地，涉及用于增加电子装置制造系统的效率的系统和方法。背景技术电子装置制造设施或“半导体代工厂(fab) ”一般使用执行生产电子装置的制造处理的处理工具。这些处理包括物理气相沉积、化学气相沉积、蚀刻、清洁和其它电子装置制造处理。应理解，本发明并不限于任何特定电子装置制造处理。半导体代工厂一般在一层布置有清洁室，并且在较低的一层布置有包括辅助系统和装置的室(在本文中称为“辅助生产层(sub-fab)”)，辅助系统和装置支持清洁室...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。