技术编号：6462882
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体工厂自动化(FA)系统，尤其涉及一种控制自动导向小车的半导体工厂自动化(FA)系统及方法。参考图1，示出传统半导体自动化工厂(FA)系统中控制自动导向小车(AGV)的方法的流程图。如图所示，传统半导体工厂自动化(FA)系统包括一个工艺设备(EQ)100、一个工艺设备(EQ)服务器(EQS)102、一个生产单元(cell)管理服务器(CMS)104、一个生产段内(intrabay)控制服务器(ICS)106、一个自动导向小车(AGV)控制...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。