技术编号:6523900
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路以及制造半导体器件的集成电路处理。具体而言,本发明提供了用于监控和控制半导体集成电路器件的制造过程中所需的工艺相关信息的方法和系统。更具体而言,本发明提供了使用更好或更坏的过程来监控和控制半导体集成电路器件的制造过程中所需的工艺相关信息的方法和系统。但是,应当意识到,本发明具有更广阔的应用范围。背景技术 集成电路已经从形成在单个硅芯片上的少数几个互连器件发展到上百万个器件。传统集成电路提供了远远超出最初预想的性能和复杂性。为了实现复杂性和...
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