技术编号：6581967
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。背景技术处理干涉条纹图像可以获得平面光学元件的面形偏差，该面形偏差值反映了被测平面光学元件的面形加工信息。如何能够准确、方便及低成本检测平面光学元件的面形偏差，对于改善平面光学元件的高精度加工具有重要的作用。目前，人工作图法可以满足光学元件生产车间的低成本检测要求，但过程较为繁琐且测量精度不高。随着人们对平面光学元件的加工要求越来越高，这种方法已经不能满足精度高、适应性强及自动化测量的要求。用目视判读法虽然可获得平面光学元件的面形偏差，但这...
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